天然氣中較難液化的氫隨著氦氣的提濃被濃縮在粗氦氣中，需要在精制前將其除去。工業氦氣一般采用催化氧化脫氫法，儲氫合金等脫氫工藝也在發展中。小于10 ppm 的殘留氫在其后的高壓冷凝吸附過程中與氮、少量的甲烷等其他雜質同時除去。

      冷源一般由常壓液氮提供，可制得純度99．99 以上的氦氣。其他精制法如洗滌吸收法，甲烷、丙烷等天然氣組分均可作為吸收劑。文章來源工業氦氣http://www.acleo.cn/。