高純氦氣低溫吸附法使用活 性炭、硅膠或分子篩在低溫下脫除水、氧、氮等雜質。高純氦氣變壓吸附（PSA）適用于中小型裝置，可將工業級氦氣（99.9%）提純至高純級。高純氦氣膜分離技術適用于天 然氣提氦或回收氣預處理。高純氦氣金屬吸氣劑/催化除雜用于深 度脫除微量氫、氧、碳氫化合物等。

    精餾塔用于大規模提純高純氦氣，若以含氦天 然氣為原料（氦含量 >0.2%），需先脫硫脫水，再通過低溫精餾分離氮、甲烷等，最后結合PSA或膜法獲得高純氦氣。文章來源：高純氦氣http://www.acleo.cn