電子工業中，高純氦氣的最大應用是半導體器件的生產。起始材料,超純半導體的單晶體，如硅和鍺共熔體生長的過程利用氦既用為保護氣又作為傳熱介質。只有非常純的惰性氣體高純氦氣(- 般要求純度為99.999%~99.99999%)才可以保證極高的晶體純度。惰性氣體高純氦氣還用做摻雜氣(如砷化氫和磷化氫)的稀釋氣和載氣，摻雜氣在半導體器中用來生成N結和P結。

       在某些高壓電子管轉換開關和調整管中也要用到氦。氦- 氬混合氣在電子元件封裝等I藝過程所需的微件焊接中用做保護氣。用氦氣作半導體生產過程的運載氣體,可以安全地將揮發性物質或氣體混合物從發生源輸送到擴散爐管或反應器的工作室。文章來源高純氦氣http://www.acleo.cn/。